Infothek/
Wissenswertes
Hier finden Sie Erklärungen zu verwendeten Begriffen rund um unsere Produkte.
Siliziumprodukte
Pitch
Gitterkonstante = Porenabstand (Porenmitte zu Porenmitte)
Porenart
Sackporen (nur einseitig offene Poren mit geschlossenen Porenböden) bzw. Membran (beidseitig geöffnente Porensysteme)
Lift-Off Prozess
Prozess zur Herstellung einer dünnen Membran – hierbei werden die Poren am Porenboden so stark geweitet, dass die Porenwand zu Nachbarpore aufgelöst wird und das Material keine Bindung zum restlichen Material besitzt. Als Folge weisen solche Membranen auf der Unterseite Spitzen zwischen den Poren auf, d.h. diese Oberfläche ist im Gegensatz zur Oberseite nicht glatt.
Aluminiumoxidprodukte
Pitch
Gitterkonstante = Porenabstand (Porenmitte zu Porenmitte)
Porenart
Sackporen (nur einseitig offene Poren mit geschlossenen Porenböden) bzw. Membran (beidseitig geöffnente Porensysteme)
Sackporen auf Aluminium
Die Sackporen können zur mechanischen Stabilität mit einer darunter ligenden Aluminiumschicht (mehrere 100 µm) geliefert werden.
MakroPor
Die MakroPor Membranen besitzen Poren mit einem einheitlichen Porendurchmesser (Abweichung unter 5%), der über die gesamte Porenlänge hindurch konstant bleibt. Die Poren sind aufgrund der Vorstrukturierung über die gesamte Fläche des Wafers gleichmäßig exakt hexagonal oder quadratisch angeordnet. Durch eine zusätzliche anisotrope Ätzung können die runden Poren auch zu viereckigen aufgeweitet werden.
Standardprodukte
| Porenabstand | Porendurchmesser | Porenlänge | Anordnung der Poren |
|---|---|---|---|
| 1,5 µm | 1 µm | 50, 200 µm | Trigonal |
| 4,2 µm | 2,5 µm | 50, 200 µm | Trigonal |
| 12 µm | 5 µm | 350, 500 µm | Quadratisch |
| 20 µm | 8 µm | 500 µm | Quadratisch |
Material­eigenschaften
Porendurchmesser anpassbar ab 1 µm bis 17 µm(größer möglich)
Porenabstand und Anordnung der Poren anpassbar durch Anfertigung einer Photomaske zur Vorstrukturierung
Standardabweichung < 5%
Durchflussmembranen mit symmetrischen Poren
Poröses Silizium mit einseitig geschlossenen Poren
Porentiefen von wenigen µm bis 500 µm
Porosität einstellbar ab 20%
thermisch stabil bis 1200ºC
(abhängig von der Umgebung)
funktionalisierbare Oberfläche
Porendurchmesser
anpassbar ab 1 µm bis 17 µm (größer möglich)
Porenabstand und Anordnung der Poren
anpassbar durch Anfertigung einer Photomaske zur Vorstrukturierung
Standardabweichung
< 5%
Durchflussmembranen
mit symmetrischen Poren
Poröses Silizium
mit einseitig geschlossenen Poren
Porentiefen
wenige µm bis 500 µm
Porosität
einstellbar ab 20%
thermisch stabil
bis 1200ºC (abhängig von der Umgebung)